Nanoprobing SEM Solutions 패키지는 직관적인 in-situ 저전류 측정 장비이며, 전자현미경 측정 시 Nano scale 샘플을 특성화할 수 있다.
'Nanoprobing SEM Solutions'의 제품 특징, 제품 사양, 사용 용도는 다음과 같다.
제품 특징
•직관적인 in situ 저전류 측정.
•프로브 팁을 반도체 칩에 접촉하여, 전체 부품의 전기적 특성을 측정하고 결함 부분을 분리시킴.
•최대 8개의 독립 나노미터 위치 결정 프로버 miBot™을 장착하여 가장 작은 칩 위에서도 안정적인 전기적 접촉 가능.
•SEM을 Modify 하지 않고, 별도 전용 현미경 없이 in situ 장치 설치 가능.
•Precisio™ 소프트웨어로 완전히 제어 가능한 종합 나노프로빙 워크플로우.
제품 사양
•최소 5nm 반경의 팁을 가진 텅스텐 프로브 니들
•직관적인 포지셔닝 조정을 위한 독특한 모바일 모션 테크놀로지의 마이크로 로봇
•탁월한 신호 대 잡음비 및 저전류 측정용 독립 케이블
•짧은 작업 거리 및 저전압 이미징을 위한 높이 조정이 가능한 큰 크기의 샘플
•가장 작은 SEM 진공 챔버와 호환 가능한 가볍고 컴팩트한 플랫폼
Φ 100mm(4-Bot)
Φ 125mm(8-Bot)
사용 용도
Imina Technologies의 Nanoprobing SEM Solutions는 마이크로 전자 장치의 전기적 특성 분석과 현장에서의 반도체 고장 분석을 위한 턴키(Turnkey) 솔루션을 제공한다.
최대 8개의 miBot™ 나노프로버를 다양한 구성으로 제공하여 고객 애플리케이션 요구 사항 및 장비에 맞출 수 있다. 사용하기 쉽고 다양한 기능을 가진 피에조 액츄에이터인 miBot™을 사용하면 나노 미터 수준의 분해능으로 밀리미터 단위의 샘플에 프로브를 위치시킬 수 있다. 이 나노 탐침을 사용하여 실험 중 현장에서 프로브의 방향을 쉽게 조정할 수 있다.
원형 플랫폼은 SEM 샘플 포지셔닝 스테이지에 장착하거나 SEM로드-록을 통해 로드할 수 있고, 어댑터가 패키지와 함께 제공되어 거의 모든 SEM에 장착 가능하다.
저전류 측정을 위해 특별히 설계된 이 제품은 탁월한 신호 대 잡음비를 특징으로 하는 차폐 케이블을 통해 나노 구조의 전기적 특성을 분석할 수 있다.
스테이지 장착 버전의 설치 및 제거는 간단히 몇 분 안에 가능하며, 로봇 플랫폼 중앙에 있는 어퍼처는 다양한 유형의 SEM stub와 잘맞아, 기존과 동일하게 표본을 관찰할 수 있다.
'Nanoprobing SEM Solutions'에 대한 상세한 내용은 Reference(참고자료)를 통하여 확인할 수 있다.
Reference(참고자료): Imina Technologis Catalogue
Maker(제조사): Imina Technologies
Country of Origin(원산지): Switzerland
Mail inquiry: kits@koreaits.com
Data Services(자료제공): (주)한국아이티에스
<이 기사는 사이언스21 매거진 2022년 11월호에 게재 되었습니다.>
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