Multiple mode 3D optical profiler DCM8은 한 장비에서 3가지 측정 모드 활용으로 제한 없이 다양한 Sample의 3차원 측정이 가능하다. 제품의 주요 특징은 다음과 같다.
제품 특징
•Confocal mode: 고속측정(3초), Lateral 분해능(120nm), 고화질 3D Topography, High slop 측정(75도)
•WLI mode: 0.1nm 수직 분해능, 고속측정(1초), Auto Tip-tilting, VSI & PSI, ePSI
•SR mode: 10nm thin film 두께 측정(0.1nm 분해능, 0.3nm repeatability, 1% 정확도)
Spot Size 30um(10X objective), Multi-layer 측정, Range 10nm ~ 20um
적용 분야
•반사율이 크고, 투명한 Thin film 또는 Thick film thickness 측정 및 분석의 경우 WLI mode 활용.
•Texture ~ Smooth sample에서 Lateral resolution이 중요한 경우 Confocal mode 활용.
•넓은 대면적을 빠르게 Scanning 해야 하는 측정의 경우는 WLI mode 활용.
•고배율(100X 이상) 측정을 요하는 경우 Confocal mode 활용.
•Multi-layer thin film의 두께 측정을 요하는 경우 SR mode 활용.
'Multiple mode 3D optical profiler(3차원 측정기) DCM8'에 대한 자료는 (주)엘림글로벌에서 제공 하였다.
Reference(참고자료): Leica의 'Multiple mode 3D optical profiler(3차원 측정기)' 자료
Model Name(모델명): Multiple mode 3D optical profiler(3차원 측정기) DCM8
Maker(제조사): Leica
Country of Origin(원산지): Germany
Data Services(자료제공): (주)엘림글로벌
<이 기사는 사이언스21 매거진 2020년 6월호에 게재 되었습니다.>
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