3차원 형상 측정기는 빛의 간섭을 이용해서 높이 분해능이 0.1nm로서 1nm~10mm의 표면 형상을 쉽고, 빠르고, 정확하게 나노 단위로 측정한다. 접촉식 방식에 비해서 측정물의 손상이 전혀 없으며 공초점 방식에 비해서 렌즈 배율에 상관없이 높이 분해능이 동일하기 때문에 정확하게 측정이 가능하고 AFM 방식에 비해서 빠르고 넓은 영역의 측정이 가능하며, 제품의 주요 특징은 다음과 같다.
제품 특징
•높이 분해능 0.1nm로 측정.
•다양한 FOV 사이즈로 측정 가능.
•배율에 상관없이 동일한 분해능.
•투명, 반투명, 불투명 등의 다양한 샘플 측정 가능.
•쉽고, 빠르고, 정밀하게 측정 가능.
•Piezo와 Capacitive Sensor에 의한 높은 신뢰성.
•장비 상태 모니터링 기능 탑재.
•Gage R&R이 우수함.
제품 사양
•2D 형상, 3D 형상을 동시 측정
•높이, 깊이, 단차, 선, 원, 호, 각도, 폭, 거리측정
•면적 거칠기(ISO-25178), 라인 거칠기(ISO-4287), 파형 측정
•스크래치, 마모, 결함, 단면적, 부피 측정
제품 구성
ACADEMY SERIES, COMPACT SERIES, ELITE SERIES, PRO SERIES, MASTER SERIES
'3차원 형상 측정기'에 대한 자료는 지엘테크에서 제공 하였다.
Reference(참고자료): 지엘테크의 '3차원 형상 측정기' 자료
Model Name(모델명): 3차원 형상 측정기(3D SURFACE PROFILER)
Maker(제조사): 지엘테크
Country of Origin(원산지): Korea
Data Services(자료제공): 지엘테크
<이 기사는 사이언스21 매거진 2020년 6월호에 게재 되었습니다.>
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