• LA-System
  • Iridia LA-System(femto & Excimer)
  • 비포스(주)에서 제공한 Teledyne Photon Machines의 'LA-System'의 제품 특징, 제품 사양 그리고 제품 구성은 다음과 같다.

    ICP-MS 분석장비는 무기분석분야에서 그 장점이 뚜렷하여 점점 다양한 분야에서 사용되며 분석영역 또한 확대되고 있다. 그러나 산업의 고도화에 따라 ICP-MS분석의 필수단계인 시료의 액상화가 어려운 영역이 늘어가고 있는 것도 사실이다. 
    예를 들면, 차세대 전력반도체(SiC, GaN)는 가장 강력한 산(Acid)인 HF(불산)으로도 녹지 않아 액상분석이 불가능하다. 

    그러나 LA-System을 ICP-MS와 연동하여 분석한다면 충분히 분석이 가능하다. 또한 ICP-MS분석은 시료의 bulk분석만 가능하지만, LA-ICP-MS분석은 레이저로 시료표면을 수 ~ 수십 um크기의 직경을 직접 분석하므로 시료의 국소부위분석, 시료의 깊이에 따른 심도분석(Depth Profiling), 원소지도분석(element mapping)등 다양한 분석방법의 적용이 가능하다. 
    최근에는 생체시료(Bio)의 국소별 원소지도분석에서 뛰어난 분석성과를 나타내고 있다.

    제품 특징
    고성능 femto second Laser 또는 Excimer Laser를 사용한 Laser Ablation System으로 ICP-MS 를 사용한 무기분석장비.
    시료를 액상화 전처리 없이 직접 분석이 가능함. 부분 분석, 심도 분석(Depth Profiling), 원소 mapping 분석 등 다양한 분석 방법을 사용할 수 있음.

    제품 사양
    •크기: 620mm x 1,050mm x 1,410mm(가로x세로x높이).

    제품 구성
    •레이저: femtosecond pulsed Laser(257nm) or Excimer Laser(193nm).
    •광학현미경, Cobalt Chamber, 레이저 관련 부품일절.
    •장비 구동을 위한 데스트탑 컴퓨터와 모니터.

    'LA-System'에 대한 상세한 내용은 Reference(참고자료)를 통하여 확인할 수 있다.

    Reference(참고자료)  
    Iridia LA-System(femto & Excimer) 카다로그

    Maker(제조사): Teledyne Photon Machines
    Country of Origin(원산지): USA 
    Data Services(자료제공): 비포스(주)

    <이 기사는 사이언스21 매거진 2025년 12월호에 게재 되었습니다.>

  • 글쓴날 : [25-12-01 15:01]
    • 최진민 기자[reporter2@s21.co.kr]
    • 다른기사보기 최진민 기자의 다른기사보기