(주)코리아사이언텍의 '비파괴, 전처리 없이 하는 고체 분석: Micro-XRF를 이용한 이물 분석 및 두께 분석'에 관한 세미나 내용은 다음과 같다.
Micro-XRF(X-ray fluorescence)는 Poly-capillary optic을 사용하여 약 25㎛ 이하의 Spot size를 갖는 X선 형광 분석기로 미소 부위 분석이 가능하여 별다른 전처리를 하지 않고도 정성, 정량 분석이 가능한 비파괴 분석 장비이다. 비균질하거나, 비정형 시료, 불규칙한 시료 등, 다양한 모든 시료의 Point, Line, Mapping 분석이 가능하여 Micro(약 10㎛ 이물)부터 Macro(최대 190×160㎜) size 시료까지 분석이 가능하다.
그림 1. Micro-XRF M4 TORNADO Plus
그림 2. Micro spot size
그림 3. Polycapillary optic
Micro size의 Spot size는 배터리 양극재의 이물, 식품 중의 이물 분석 등 뿐만 아니라, 코팅 두께와 두께 편차를 한눈에 확인할 수 있어, Particle count, Wafer, Polymer 코팅층 두께 분석 등 다양한 분야에 활용되고 있다.
그림 4. 양극재에서 Fe 이물의 정량 및 크기, 수량 확인
그림 5. Glass 위 Cu/Al 합금 코팅 층의 두께 분포
또한 M4 TORNADO Plus는 고감도 검출기를 사용하여 6C~95Am까지 광범위한 범위의 원소 분석이 가능하여, 기존의 분석이 어려웠던 C, N, O, F 분석이 가능하여 디스플레이 표면의 F 오염이나, 배터리 불량 원인 조사, AlN 히터 표면의 O, N, F 분석 등을 할 수 있다.
그림 6. 디스플레이 표면의 F 오염 분석
그림 7. Separator 표면의 이물 분석: F
XRF 특성상 진공에서 경원소 분석이 가능한데, He을 사용하여 생물시료, 습한 시료 등 진공에서 변형이 일어나는 시료의 경우에도 시료의 변형 없이 고해상도의 경원소 이미지 Map이 가능하다.
그 밖에 전처리가 필요하지 않고, 분석 후에도 시료 원형 그대로 보존이 되기 때문에 법의학, 문화재, 미술, 지질 분야에서도 많이 사용하고 있다.
그림 11. 지문 분석
그림 12. 도자기 분석
Bruker Nano GmBH의 'M4 TORNADO Plus'에 대한 상세한 내용은 Reference(참고자료)를 통하여 확인할 수 있다.
Reference(참고문헌): M4 TORNADO plus brochure, Hompage 소개 자료 외
<2022 KOREA LAB 신제품·우수제품 발표 세미나 현장 사진>
Model Name(모델명): M4 TORNADO Plus
The Person in Charge(담당자): Lee Moonhee
Maker(제조사): Bruker Nano GmBH
Country of Origin(원산지): Germany
Mail inquiry: rnd@kst-i.co.kr
Data Services(자료제공): KoreaScientech, Bruker Nano GmBH
<이 기사는 사이언스21 매거진 2022년 9월호에 게재 되었습니다.>
그림 1. Micro-XRF M4 TORNADO Plus
그림 2. Micro spot size
그림 3. Polycapillary opticMicro size의 Spot size는 배터리 양극재의 이물, 식품 중의 이물 분석 등 뿐만 아니라, 코팅 두께와 두께 편차를 한눈에 확인할 수 있어, Particle count, Wafer, Polymer 코팅층 두께 분석 등 다양한 분야에 활용되고 있다.
그림 4. 양극재에서 Fe 이물의 정량 및 크기, 수량 확인
그림 5. Glass 위 Cu/Al 합금 코팅 층의 두께 분포또한 M4 TORNADO Plus는 고감도 검출기를 사용하여 6C~95Am까지 광범위한 범위의 원소 분석이 가능하여, 기존의 분석이 어려웠던 C, N, O, F 분석이 가능하여 디스플레이 표면의 F 오염이나, 배터리 불량 원인 조사, AlN 히터 표면의 O, N, F 분석 등을 할 수 있다.
그림 6. 디스플레이 표면의 F 오염 분석
그림 7. Separator 표면의 이물 분석: FXRF 특성상 진공에서 경원소 분석이 가능한데, He을 사용하여 생물시료, 습한 시료 등 진공에서 변형이 일어나는 시료의 경우에도 시료의 변형 없이 고해상도의 경원소 이미지 Map이 가능하다.
그 밖에 전처리가 필요하지 않고, 분석 후에도 시료 원형 그대로 보존이 되기 때문에 법의학, 문화재, 미술, 지질 분야에서도 많이 사용하고 있다.
그림 10. PCB 기판 원소 Map
그림 11. 지문 분석
그림 12. 도자기 분석Bruker Nano GmBH의 'M4 TORNADO Plus'에 대한 상세한 내용은 Reference(참고자료)를 통하여 확인할 수 있다.Reference(참고문헌): M4 TORNADO plus brochure, Hompage 소개 자료 외
<2022 KOREA LAB 신제품·우수제품 발표 세미나 현장 사진>Model Name(모델명): M4 TORNADO PlusThe Person in Charge(담당자): Lee MoonheeMaker(제조사): Bruker Nano GmBHCountry of Origin(원산지): GermanyMail inquiry: rnd@kst-i.co.krData Services(자료제공): KoreaScientech, Bruker Nano GmBH<이 기사는 사이언스21 매거진 2022년 9월호에 게재 되었습니다.>