(주)앤나노에서 제공한 Bruker의 '접촉식 표면 단차 거칠기 측정기(Stylus Profilometer)'의 제품 특징, 제품 사양 그리고 제품 구성은 다음과 같다.
Bruker DektakPRO 스타일러스 프로파일러는 50년 이상의 독점 기술의 산물이다. 2D 조도 표면 및 단차, 3D 매핑 및 박막의 응력 분석 등의 분야에서 반복 가능하고 신뢰할 수 있으며 정확한 측정을 제공한다.
DektakPRO 스타일러스 프로파일러는 학술 연구 및 반도체 공정 제어 등 다양한 응용 분야에서 박막 두께, 응력, 표면 조도 및 형태 측정을 위한 표준으로 널리 인정받고 있다.
제품 특징
•Sub-nm 단차 및 거칠기 측정
•2D profile 및 3D Mapping
•2D/3D Stress 측정
제품 사양
•1Å vertical resolution
•4Å step height repeatability
•55mm 단일 Scan
제품 구성
•프로파일러 + Stylus tip + 모니터 및 PC + 진동방지테이블.
'접촉식 표면 단차 거칠기 측정기(Stylus Profilometer)'에 대한 상세한 내용은 (주)앤나노를 통하여 확인 가능하다.
Reference(참고자료, 자료제공 웹사이트)
Bruker DektakPRO Stylus Profiler_브로셔,
(주)앤나노 홈페이지(https://n-nano.co.kr)
Maker(제조사): Bruker
Country of Origin(원산지): Malaysia
Data Services(자료제공): (주)앤나노
<이 기사는 사이언스21 매거진 2026년 6월호에 게재 되었습니다.>